LAM 839-101612-885 模块是LAM Research公司生产的半导体制造设备中的一个关键组件。它通常是电容式静电夹持器（Electrostatic Chuck，ESC）的一部分，用于在半导体制造过程中夹持晶圆。这种夹持器能够在高温、高真空等苛刻环境下，精确地控制晶圆的位置和姿态，以确保半导体器件的制造质量。
产品名称及型号
- 中文产品名称: LAM Research 电容式静电夹持器组件
型号: 839-101612-885
产品描述
该模块是ESC系统中的一个子组件，其具体功能可能因不同的ESC型号而有所差异。一般来说，它负责提供高压电场，使晶圆与夹持器之间产生静电吸附力，从而实现对晶圆的精确夹持。
主要功能
- 晶圆夹持: 提供足够的静电吸附力，牢固地夹持晶圆。
- 位置控制: 精确控制晶圆的位置，确保加工过程的准确性。
- 耐高温高真空: 能够在高温、高真空等恶劣环境下稳定工作。
产品参数（典型值）
由于该模块是ESC系统的一部分，其参数通常与整个ESC系统密切相关，很难给出独立的具体参数。一般来说，影响该模块性能的主要参数包括：
- 夹持力: 能够提供的最大夹持力。
- 均匀性: 电场分布的均匀性，
