- 模块是 ENI GHW 系列高可靠性射频等离子体发生器的一部分。
- 它设计用于在各种工业过程中产生射频能量，特别是在半导体制造中。
- 该模块主要用于等离子体生成，为各种半导体制造工艺提供所需的射频功率。
- GHW-12Z模块是1250W的射频发生器。
- ENI现在为MKS Instruments公司所有。
产品参数和规格：
根据搜索结果，以下是一些关键参数：
- 类型：射频等离子体发生器
- 制造商：ENI（MKS Instruments）
- 系列：GHW
- 频率：13.56 MHz
- 功率输出：1250 W
- 调节公差：
125 W：±1.5% SP
