产品说明
810-068158-014 LAM 是一种高质量
的液体辅助材料，可用于半导体制造过程中的化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）工艺。
产品参数
- 化学成分：含碳化钨
- 外观：淡黄色液体
- 相对密度：2.75 g/mL
- 沸点：230°C
产品规格
- 包装：1升，5升，10升
- 储存条件：储存在阴凉、干燥的地方，避免阳光直射，避免与强氧化剂接触
- 使用方法：请阅读产品说明书并按照说明书中的指导使用
产品应用
810-068158-014 LAM 适用于以下半导体制造应用：
- 氮化硅
- 碳化硅
- 氮化铝
- 碳化钨
- 氮化钨
- 硼化硅
