810-066590-004 LAM 模块

810-066590-004 LAM 产品是一种用于半导体制造的化学气相沉积（CVD）工艺的气体源。产品是低能耗、高可靠性的，可以广泛用于各种半导体工艺中。该产品的主要参数如下：

• 气体组成：SiH4、GeH4、PH3、B2H6、H2、Ar
• 纯度：>99.999%
• 瓶装压力：1.5 MPa

• 瓶装体积：47.6 L

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810-066590-004 LAM 产品可用于生产各种半导体器件，例如：

• 晶体管
• 二极管
• 光电二极管
• 电容器

• 电阻器

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这些器件可应用于计算机、通信、航空航天、医疗等领域。