- 模块是应用材料公司 ASTEX 臭氧发生器的一部分。
- 臭氧发生器用于在各种工业过程中产生臭氧，尤其是在半导体制造中。
- 应用材料公司是一家为半导体、显示器和其他电子行业提供设备、服务和软件的全球领导者。
- 0190-09437 是该模块的零件号。
- 此设备被应用在CVD(化学气相沉积)工艺中。
产品参数和规格：
- 由于详细的技术参数需要查阅应用材料公司的官方技术文档，以下是一些该模块的通常功能。
- 类型：臭氧发生器模块
- 制造商：ASTEX（应用材料公司）
- 应用：半导体制造、CVD工艺。
- 功能：产生臭氧。
- 零件号：0190-09437
