ENI GHW-12Z 模块是一款高功率射频发生器，主要用于等离子体处理、材料加工等领域。它能够产生高频、高功率的射频能量，用于激发等离子体，实现材料的切割、蚀刻、沉积等工艺。
产品描述
GHW-12Z 模块是ENI公司（现为MKS Instruments旗下）的一款经典产品，以其高功率、高稳定性、易用性而闻名。该模块通常与匹配网络配合使用，为等离子体设备提供稳定的射频功率。
产品参数（典型值，具体参数以产品手册为准）
| 参数 | 值 |
|---|---|
| 频率 | 13.56 MHz |
| 输出功率 | 1250W |
| 调制方式 | AM、FM |
| 输出阻抗 | 50Ω |
| 冷却方式 | 风冷 |
