MKS RPS AX7695 模块是一款高性能的远程等离子体源，主要用于半导体制造、薄膜沉积等领域。它能够产生高密度、高纯度的等离子体，用于刻蚀、清洗、沉积等工艺。
AX7695 模块通常集成在半导体设备中，通过产生等离子体来对工件进行处理。它具有灵活的配置选项，可以根据不同的工艺需求进行定制。
产品特点
高密度等离子体: 能够产生高密度、均匀的等离子体。
- 高纯度: 等离子体纯度高，减少了污染。
- 快速点火: 点火速度快，提高了生产效率。
- 可定制性: 可以根据工艺需求定制参数。
MKS RPS AX7695 模块是一款高性能的远程等离子体源，主要用于半导体制造、薄膜沉积等领域。它能够产生高密度、高纯度的等离子体，用于刻蚀、清洗、沉积等工艺。
AX7695 模块通常集成在半导体设备中，通过产生等离子体来对工件进行处理。它具有灵活的配置选项，可以根据不同的工艺需求进行定制。
高密度等离子体: 能够产生高密度、均匀的等离子体。
