MKS AX7695 是一款 R*evolution® III 集成远程等离子源，专为半导体晶圆处理应用提供反应气体。它将石英真空室、射频 (RF) 电源和所有必要的控制集成到一个紧凑的自contained单元中，可以直接安装在工具工艺腔室上，从而提供极其清洁、低成本的原子自由基源，以在晶圆上实现所需的反应，并降低技术复杂性。该设备基于 MKS 专利的低场环形等离子体技术，能够产生超纯净的原子中性粒子或自由基，适用于光刻胶去除、晶圆预清洗、薄膜氮化和氧化等工艺。
关键特性:
- 集成、自contained单元，设计用于腔室直接安装。
- 石英等离子体管，具有化学惰性、低复合率和高纯度。
- 高性能、低成本的替代方案，可替代微波或 ICP 系统。
- 高达 6 kW 的等离子体功率。
- 快速、可靠的等离子体点火。
- 基于专利的低场环形等离子体技术，具有成熟的可靠性。
- 应用包括光刻胶去除、栅极氮化、氧化、晶圆预清洗等。
- 可提供高达 6 slm 的自由基流量。
- 通过以太网 (MKS TOOLweb-enabled) 进行远程监控和控制。
- 内置热开关和水流开关，防止冷却不足。
产品参数 (产品参数):
- 类型: 集成远程等离子源
- 点火气体供应: 100% O2 或 Ar，或 90% O2/10% N2 (可咨询 MKS 其他气体)
- 工艺气体供应: 最高 6.0 slm 的 100% O2 或 90% O2/10% N2 (可咨询 MKS 其他气体)
- 工作压力:
- 点火: 0.5 至 2.0 Torr @ 1.0 至 6.0 slm (在 R*evolution III 出口处测量)
- 工艺: 0.5 至 2.0 Torr @ 1.0 至 6.0 slm
- 输出: 最高 6 slm 自由基
- 输入: 等离子开/关，功率设定
- 输出: 就绪，AC 电源，等离子开，功率监测
- 占空比: 100%
- 互锁: 内部热开关和内部水流开关
- 控制接口: 离散 I/O (9 针和 25 针 D 型连接器)，RS-232，DeviceNet™，以太网 (MKS TOOLweb®-enabled)
- 电源要求: 180 至 228 VAC，50/60 Hz，30A，三相
