Novellus 02-00374-00 模块是Novellus（现已被应用材料公司收购）生产的半导体制造设备中的一个关键组件。具体来说，它通常是用于Novellus C1系列等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统的终端面板组件。这个模块在整个沉积过程中扮演着重要的角色，负责控制和监控各种参数，以确保薄膜的均匀性和质量。
产品描述
这个模块通常是一个安装在沉积腔体外部的电子控制单元。它包含了大量的电子元件，如微处理器、存储器、接口电路等。这些组件协同工作，实现对工艺参数的实时监测和控制。例如，它可以控制气体流量、射频功率、温度等参数，以确保薄膜的生长符合工艺要求。
主要功能
- 参数控制: 精确控制沉积过程中的各种参数，如气体流量、射频功率、温度等。
- 数据采集: 收集来自传感器的数据，如压力、温度、流量等。
- 故障诊断: 监测系统状态，并发出故障报警。
- 人机交互: 提供人机界面，方便操作人员进行设置和监控。
