Brooks 148299 模块是 Brooks Automation 公司生产的一款用于半导体制造设备的装载口控制模块。它通常被集成到自动化物料搬运系统中，用于控制晶圆或其他半导体载具在设备之间的传输和交换。
产品参数及规格：
由于 Brooks 产品型号众多，且具体规格可能因不同应用场景而有所差异，因此无法提供非常精确的参数。但是，一般来说，Brooks LoadPort 模块具有以下功能和特点：
- 功能：
- 控制晶圆或载具的上下运动
- 控制真空系统
检测载具状态
- 与上位机通信
- 接口：
- 多种接口，包括数字I/O、模拟I/O、串口等，用于连接其他设备。
- 驱动器：
- 集成电机驱动器，控制载具的运动。
