ASYST CS-7100 模块是ASYST公司生产的一款用于半导体制造过程中晶圆传输的机器人控制模块。它作为整个晶圆传输系统的核心组件，负责控制机器人的动作，实现晶圆在不同设备之间的精确传输。
产品名称
- 中文名称： ASYST CS-7100 晶圆传输机器人控制模块
- 英文名称： ASYST CS-7100 Wafer Transfer Robot Control Module
产品描述
CS-7100模块是ASYST公司MECS（Modular Equipment Control System）的一部分，用于控制和协调晶圆传输机器人。它通过与其他MECS组件配合，实现晶圆在半导体生产线上的自动化传输，保证生产过程的高效率和高精度。
主要特点
- 高精度控制： 确保晶圆在传输过程中位置精确，避免损坏。
- 灵活配置： 可以根据不同的生产线和工艺要求进行灵活配置。
- 可靠性高： 采用工业级设计，适用于恶劣的生产环境。
- 易于集成： 可以与其他半导体设备进行无缝集成。
- 多种通信方式： 支持多种通信协议，方便与上位机进行通信。
