产品描述：
- 该模块是 ASTEX AX8200A 型臭氧发生器，由应用材料公司（Applied Materials）使用。
- 它用于产生臭氧，臭氧是一种强氧化剂，在半导体制造等工艺中用于清洁和氧化。
- 通过搜索结果得知，该模块被运用在CVD(化学气相沉积)等半导体制造工艺中。
- 此模块主要被运用在高精度的工业环境中。
产品参数和规格：
- 类型：臭氧发生器
- 制造商：ASTEX（应用材料公司）
- 型号：AX8200A
- 零件编号：0190-09437
- 主要应用：半导体制造，CVD工艺等。
- 由于该模块通常被使用在专业的工业环境中，因此其规格非常严格。
- 为了获得最精确和详细的技术规格，建议查阅应用材料公司的官方文档或联系其客户支持。
- 在一些销售网站上，能够找到该模块的相关信息。
主要特点和优点：
- 产生高纯度臭氧。
- 适用于半导体制造等高科技应用。
- 能够在高精度的工业环境中稳定运行。
应用场景：
- 半导体制造。
- CVD（化学气相沉积）工艺。
