Novellus 02-00374-00 模块是Novellus Systems Inc.（现已并入KLA-Tencor）生产的半导体制造设备中的一个组件。根据现有的信息，该模块通常被描述为**“PCA,TERMINAL PANEL C1 NG (ALL)”**，即C1型新一代终端面板的印刷电路板。
产品名称及型号
- 产品名称： 终端面板印刷电路板
- 型号： 02-00374-00
产品描述
注意： 由于缺乏详细的产品规格书，以下描述基于现有公开信息和对Novellus设备的普遍了解。
该模块通常安装在Novellus的半导体制造设备上，例如C-1型设备。其主要功能是：
- 连接接口： 提供各种连接接口，用于连接设备的其他组件、传感器、执行器等。
- 信号处理： 处理来自传感器和控制器的信号，并向执行器发送控制信号。
- 电路保护： 提供电路保护功能，防止设备损坏。
