LAM 839-101612-887 模块是LAM Research公司生产的一款半导体制造设备部件。通常，它被用作电极夹持器（ESC Chuck），主要用于半导体晶圆的夹持和处理。这种模块在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色，直接影响着晶圆的加工质量和生产效率。
产品功能与特点
- 晶圆夹持： 牢固地夹持半导体晶圆，确保其在加工过程中保持稳定。
- 高精度定位： 实现晶圆的高精度定位，保证后续工艺的准确性。
- 耐高温高压： 设计用于承受半导体制造过程中极端的高温高压环境。
兼容性强： 可与LAM Research的多种半导体设备兼容。
产品参数与规格
由于LAM Research的产品型号往往包含详细的配置信息，因此839-101612-887这个型号本身可能包含了关于该模块的特定规格信息。这些信息可能包括：
- 尺寸规格： 模块的物理尺寸、接口尺寸等。
- 材料： 模块所使用的材料，如金属、陶瓷等。
- 兼容设备： 该模块适用于哪些型号的LAM Research设备。
- 性能指标： 夹持力、定位精度、耐用性等。
