MKS RPS AX7695 模块是一款高性能的远程等离子体源，主要用于半导体制造过程中薄膜沉积、刻蚀等工艺。它能够产生高密度、高纯度的等离子体，以实现对材料的精确处理。
产品描述
AX7695 模块属于MKS Instruments公司的R*evolution III系列产品，采用先进的等离子体产生技术，具有高稳定性、高效率等特点。它通常集成到半导体制造设备中，为工艺过程提供等离子体源。
产品特点
- 高密度等离子体: 产生高密度等离子体，提高工艺效率。
- 均匀性好: 等离子体分布均匀，保证工艺的一致性。
- 稳定性高: 具有良好的稳定性，确保工艺的重复性。
- 灵活配置: 可以根据不同的工艺需求进行灵活配置。
产品参数（示例）
| 参数名称 | 参数值（示例） | 单位 |
|---|---|---|
| 最大功率 | 1000W | W |
| 等离子体频率 | 13.56MHz | MHz |
| 工作压力范围 | 1-100 mTorr | mTorr |
| 气体种类 | Ar, O2, N2等 |
