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KOKUSAI SMPCONT-A3 高性能压电式执行器

KOKUSAI SMPCONT-A3 产品说明

KOKUSAI SMPCONT-A3 是一款用于半导体制造的高性能压电式执行器。该产品采用了先进的压电技术,能够在高温和极端条件下保持稳定的性能。以下是该产品的详细参数和规格:

产品参数

  • 最大推力:500N
  • 行程范围:5mm-20mm
  • 分辨率:1um
  • 工作温度范围:-20℃至120℃
  • 驱动电压:100VAC

产品规格

  • 外壳材料:不锈钢
  • 连接接头:M12/1.0
  • 防护等级:IP67
  • 重量:不到500g

产品应用

KOKUSAI SMPCONT-A3 可广泛应用于半导体制造的各个环节,如晶圆清洗、切割和加工等。该产品具有高精度、高速度和高可靠性的特点,可以大大提高制造效率和产品质量。如果您需要更多关于该产品的信息,请与我们联系。


标签: KOKUSAI SMPCONT-A3