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BALZERS IKR020 模块

BALZERS IKR020 冷阴极真空计产品信息概述

产品名称: BALZERS IKR020 冷阴极真空计

产品描述:

BALZERS IKR020 是一款冷阴极真空计,用于测量真空系统的压力。该真空计具有以下特点:

  • 高精度: 采用先进的传感器技术,可提供高精度的压力测量,测量范围为 5 x 10^-3 至 10^-10 mbar。
  • 高可靠性: 采用坚固耐用的设计和严格的质量控制标准,确保长期稳定运行。
  • 易于使用: 提供友好的用户界面和直观的指示,方便操作和维护。
  • 广泛适用: 可用于各种真空系统,包括半导体制造、薄膜沉积、分析仪器等。

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产品参数:

  • 测量范围: 5 x 10^-3 至 10^-10 mbar
  • 精度: ±2% FS
  • 工作温度范围: -20°C 至 +80°C (-4°F 至 +176°F)
  • 防护等级: IP40

产品规格:

  • 尺寸: 100 x 55 x 35 mm (3.94 x 2.17 x 1.38 inches)
  • 重量: Approximately 0.5 kg (1.10 lbs)

  • MOTOROLA MVME5500 (3).jpg

  • 安装方式: 面板安装

产品特点:

  • 高精度: BALZERS IKR020 冷阴极真空计采用先进的传感器技术,可提供高精度的压力测量,测量范围为 5 x 10^-3 至 10^-10 mbar。该真空计可以满足各种真空系统的测量需求,包括对高精度要求的应用。
  • 高可靠性: 该真空计采用坚固耐用的设计和严格的质量控制标准,确保长期稳定运行。即使在恶劣的环境条件下也能提供可靠的性能。
  • 易于使用: 该真空计提供友好的用户界面和直观的指示,方便操作和维护。用户可以轻松查看压力值、设置参数等。
  • 广泛适用: 该真空计可用于各种真空系统,包括半导体制造、薄膜沉积、分析仪器等。该真空计适用于各种工业和科研应用。

应用领域:

BALZERS IKR020 冷阴极真空计可广泛应用于以下领域:

  • 半导体制造: 用于测量真空刻蚀、薄膜沉积、晶圆清洗等工艺中的压力。
  • 薄膜沉积: 用于测量磁性溅射、原子层沉积、物理气相沉积等工艺中的压力。
  • 分析仪器: 用于测量质谱仪、光谱仪、电子显微镜等仪器中的压力。
  • 真空包装: 用于测量食品、药品、电子元件等产品的真空包装中的压力。
  • 其他真空应用: 用于测量各种真空系统的压力,如真空泵、真空阀门、真空管等。

重要事项:

  • 安装和使用 BALZERS IKR020 冷阴极真空计应按照说明书进行,并定期进行维护和检修,以确保其性能和可靠性。
  • 该真空计应由经过培训的专业人员进行操作和维护。
  • 请勿在易燃易爆环境中使用该真空计,除非已获得防爆认证。
  • 请勿将该真空计暴露在极端温度或湿度条件下。

免责声明:

以上信息仅供参考,可能无法完全涵盖 BALZERS IKR020 冷阴极真空计的所有细节和功能。如果您需要更准确的信息,建议您联系 Balzers 或授权代理商。

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