BALZERS IKR020 冷阴极真空计产品信息概述
产品名称: BALZERS IKR020 冷阴极真空计
产品描述:
BALZERS IKR020 是一款冷阴极真空计,用于测量真空系统的压力。该真空计具有以下特点:
- 高精度: 采用先进的传感器技术,可提供高精度的压力测量,测量范围为 5 x 10^-3 至 10^-10 mbar。
- 高可靠性: 采用坚固耐用的设计和严格的质量控制标准,确保长期稳定运行。
- 易于使用: 提供友好的用户界面和直观的指示,方便操作和维护。
广泛适用: 可用于各种真空系统,包括半导体制造、薄膜沉积、分析仪器等。
产品参数:
- 测量范围: 5 x 10^-3 至 10^-10 mbar
- 精度: ±2% FS
- 工作温度范围: -20°C 至 +80°C (-4°F 至 +176°F)
- 防护等级: IP40
产品规格:
- 尺寸: 100 x 55 x 35 mm (3.94 x 2.17 x 1.38 inches)
重量: Approximately 0.5 kg (1.10 lbs)
- 安装方式: 面板安装
产品特点:
- 高精度: BALZERS IKR020 冷阴极真空计采用先进的传感器技术,可提供高精度的压力测量,测量范围为 5 x 10^-3 至 10^-10 mbar。该真空计可以满足各种真空系统的测量需求,包括对高精度要求的应用。
- 高可靠性: 该真空计采用坚固耐用的设计和严格的质量控制标准,确保长期稳定运行。即使在恶劣的环境条件下也能提供可靠的性能。
- 易于使用: 该真空计提供友好的用户界面和直观的指示,方便操作和维护。用户可以轻松查看压力值、设置参数等。
- 广泛适用: 该真空计可用于各种真空系统,包括半导体制造、薄膜沉积、分析仪器等。该真空计适用于各种工业和科研应用。
应用领域:
BALZERS IKR020 冷阴极真空计可广泛应用于以下领域:
- 半导体制造: 用于测量真空刻蚀、薄膜沉积、晶圆清洗等工艺中的压力。
- 薄膜沉积: 用于测量磁性溅射、原子层沉积、物理气相沉积等工艺中的压力。
- 分析仪器: 用于测量质谱仪、光谱仪、电子显微镜等仪器中的压力。
- 真空包装: 用于测量食品、药品、电子元件等产品的真空包装中的压力。
- 其他真空应用: 用于测量各种真空系统的压力,如真空泵、真空阀门、真空管等。
重要事项:
- 安装和使用 BALZERS IKR020 冷阴极真空计应按照说明书进行,并定期进行维护和检修,以确保其性能和可靠性。
- 该真空计应由经过培训的专业人员进行操作和维护。
- 请勿在易燃易爆环境中使用该真空计,除非已获得防爆认证。
- 请勿将该真空计暴露在极端温度或湿度条件下。
免责声明:
以上信息仅供参考,可能无法完全涵盖 BALZERS IKR020 冷阴极真空计的所有细节和功能。如果您需要更准确的信息,建议您联系 Balzers 或授权代理商。
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