ZYGO ZMI-2002 是一款高精度位移测量板卡，主要用于激光干涉测量系统中，实现对微小位移的高精度测量。它通常与 ZYGO 的激光干涉仪配合使用，广泛应用于半导体制造、精密机械、光学测量等领域。
产品特点
- 高精度: 能够实现纳米级的位移测量分辨率。
- 双轴测量: ZMI-2002 支持同时测量两个轴的位移，提高测量效率。
- VME接口: 采用 VME 总线接口，方便与其他系统集成。
- 多功能: 可用于测量位移、速度、加速度等物理量。
- 灵活配置: 提供多种配置选项，满足不同应用需求。
产品参数（具体参数请参考官方数据手册）
- 测量范围: 视具体配置而定，可达数十微米。
- 测量分辨率: 纳米级
- 测量速度: 取决于应用需求和系统配置
- 接口: VME
- 工作温度: 视具体型号而定
